Ultieme vacuümtest
Doelstelling:Om de laagste druk te meten die een vacuümpomp na langdurige werking kan bereiken bij onbelaste omstandigheden (afgesloten van het processysteem).Dit is een belangrijke indicator van de pompvermogen.
Metode:Vergrendel de pompinlaat, start de pomp en laat de pomp continu draaien (bijvoorbeeld 2 uur).
Typische gegevens:Het ultieme vacuüm varieert aanzienlijk tussen verschillende soorten vacuümpompen.terwijl het ideale uiteindelijke vacuümbereik voor schroefvacuümpompen meestal tussen 1 × 10−2 Pa en 1 × 10−3 Pa ligt.
Test van de pompsnelheid
Doelstelling:Om het volume gas dat in de pompinlaat wordt getrokken per tijdseenheid bij een specifieke druk te meten, wat het operationele rendement van de pomp weerspiegelt.
Metode:Verbind een standaard vacuümkamer met een bekend volume en meet de tijd die nodig is om van de atmosferische druk af te pompen naar een specifieke streefdruk (bijv. 5 × 10 − 2 mbar),en vervolgens de gemiddelde pompsnelheid berekenen.
Typische gegevens:De pompsnelheid wordt gewoonlijk uitgedrukt in L/s of m3/h. Bijvoorbeeld als een pompmodel een nominale pompsnelheid van 50 m3/h heeft:in de testvoorschriften kan worden bepaald dat de tijd om van de atmosferische druk naar de streefdruk te pompen niet langer mag zijn dan 15 minuten;, met een afwijking van de pompsnelheid van ± 5%.
Test van het lekpercentage
Doelstelling:Om de afdichting van de pomp en de aansluitingen ervan te controleren, zodat er geen duidelijke lekken zijn om de stabiliteit van het uiteindelijke vacuüm te garanderen.
Metode:Typisch wordt een zeer gevoelige heliummassaspectrometerlekkadetector gebruikt om de gehele pomp te inspecteren (bijv. afdichtingsgebieden zoals het schachtendeel, eindkappen en flenzen).
Typische gegevens:Voor vacuümpompen met hoge prestaties is de vereiste totale lekkagesnelheid extreem streng; deze moet bijvoorbeeld lager zijn dan 5×10−8 Pa·m3/s.
Stabiliteitstest
Doelstelling:Om het vermogen van de vacuümpomp om een specifiek vacuümniveau te handhaven tijdens continue werking of onder gesimuleerde werkomstandigheden te evalueren.
Metode:Laat de pomp gedurende een langere periode (bijv. 4 uur of 168 uur) continu draaien bij een specifieke druk en controleer het schommelingsbereik van het vacuümniveau.
Typische gegevens:De schommeling van het vacuümniveau moet minimaal zijn, bijvoorbeeld bij een continue werking met een druk van 5×10−2 mbar gedurende 4 uur mag de schommeling van het vacuümniveau niet meer bedragen dan ±1×10−3 mbar.